美国ALICAT LLF4系列质量流量计-耐腐蚀
Alicat的LLF4系列数字式质量流量计可精确、快速测量
腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
性能/参数
LLF4系列质量流量计
流量范围
0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量单位如kg/h、g/min等
标定气体
内置130条气体可选择
含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)
精度(调零后)
±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(调零后)
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重复性
±0.2%FS
漂移(零点/满量程)
0.02% F.S/ºC/Atm
工作范围
0.5-100%
响应时间
10毫秒(调整)
启动预热时间
1秒内
标准工况
25ºC & 14.696 psia，可自定义修改
工作温度范围
-10~-50℃(另有高温订制品)
工作湿度范围
0-100%RH(非冷凝)
工作压力
10Bar
工作压差
5Bar
安装方向
任意
阀门状态
常闭
材质
SUS316L不锈钢(传感器)、密封圈FFKM(Kalrez)
显示屏
背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度
数字信号
标准RS232
选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模拟信号
标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
第二路模拟信号
电气接口
标准圆形8芯
选配:圆形6芯、DB9、DB15
供电电压
+24VDC
消耗电流
100mA
针脚/颜色
定义
1针(黑色)
4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针
2针(棕色)
不用连接,如选第二路 输出信号可接
3针(红色)
RS232 输入串口RS232 输入串口
4针(橘色)
远程清零
5针(黄色)
RS232 输出串口
6针(绿色)
0-5V或0-10V输出信号
7针(蓝色)
+24VDC供电
8针(紫色)
接地(同时作用于电源、通讯、模拟)
备注：以上是标配圆新8芯接线注解，其他接口来电咨询
流量
压损(PSID),排放大气中
接口
0.5-1SCCM
1.0
1/8NPT母螺纹
2-50SCCM
100SCCM-20SLPM
50SLPM
2.0
1/4NPT母螺纹
100SLPM
2.5
250SLPM
2.1
1/2NPT母螺纹
500SLPM
4.0
3/4NPT母螺纹
1000SLPM
6.0
1500SLPM
9.0
2000SLPM
5.0
3000SLPM
7.1
1-1/4NPT母螺纹
4000SLPM
2.7
2”NPT母螺纹
3.4