美国ALICAT LKF5系列质量流量控制器-耐腐蚀
Alicat的LKF5系列数字式质量流量控制器可精确、快速控制
腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
更适用于液体气化后的流量控制。
如：氨水、硅油气化后，限度允许气体湿度195%。
性能/参数
LKF5系列质量流量控制器
流量范围
0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量单位如kg/h、g/min等
标定气体
内置130条气体可选择，含腐蚀气体
精度(调零后)
±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(调零后)
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重复性
±0.2%FS
漂移(零点/满量程)
0.02% F.S/ºC/Atm
工作范围
0.5-100%
响应时间
100毫秒(调整)
启动预热时间
1秒内
标准工况
25ºC & 14.696 psia，可自定义修改
工作温度范围
-10~-50℃(另有高温订制品)
工作湿度范围
0-95%RH(非冷凝)
工作压力
不超过10Bar
安装方向
任意
阀门状态
常闭
材质
SUS316L不锈钢(传感器)、密封圈FFKM(Kalrez)
显示屏
背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度
数字信号
标准RS232
选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模拟信号
标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
第二路模拟信号
电气接口
标准圆形8芯
选配:圆形6芯、DB9、DB15
供电电压
+24VDC
消耗电流
20SLPM以内：250mA
50SLPM以内：750mA
针脚/颜色
定义
1针(黑色)
4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针
2针(棕色)
不用连接,如选第二路 输出信号可接
3针(红色)
RS232 输入串口RS232 输入串口
4针(橘色)
模拟设定信号(订货时确认信号类型)
5针(黄色)
RS232 输出串口
6针(绿色)
0-5V或0-10V输出信号
7针(蓝色)
+24VDC供电
8针(紫色)
接地(同时作用于电源、通讯、模拟)
备注：以上是标配圆新8芯接线注解，其他接口来电咨询
流量
压损(PSID),排放大气中
接口
0.5-50SCCM
1.0
1/8NPT母螺纹
100-500SCCM
1SLPM
1.5
2SLPM
3.0
5SLPM
2.0
10SLPM
5.5
20SLPM
20.0
50SLPM
1/4NPT母螺纹
100SLPM
3.2
250SLPM
2.4
1/2NPT母螺纹
500SLPM
6.5
3/4NPT母螺纹
1000SLPM
14.0
1500SLPM
17.0
2000SLPM
28.6
3000SLPM
16.8
1-1/4NPT母螺纹
5000SLPM
14.1
1-1/2NPT母螺纹
一：进气管道上建议安装上的过滤器(20-30目)使用。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
八：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。