日本KOFLOC 5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
5100质量流量控制器
量程(N2)
1SCCM-20SLPM
精度
±1.0%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
1秒以内
耐压
1.0Mpa
进口最大压力
O.3Mpa
动作压差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
内抛光
Ra≤0.1
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316L
密封圈SUS316L、PTFE
电气接口
DB9
模拟信号
0-5V输入/输出
供电
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接
标配1/4UJR
选配1/8UJR
重量
约1000g
针脚/颜色
定义
1针脚/棕色
阀门全开/全闭
2针脚/白色
0-5V输出
3针脚/红色
+15VDC
4针脚/黑色
电源COM
5针脚/黄色
-15VDC
6针脚/灰色
0-5V输入
7针脚/绿色
输出COM
8针脚/兰色
输入COM
9针脚/紫色
阀门电源输出
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口最大压力3公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。