美国ALICAT-MXM-TK/SA系列 多功能配气仪/混气仪/混合气体仪
用于精确实验室操作的气体混合系统。
气体混合器足够灵活，适用于数百种应用。一个高度可定制的气体混合平台
用于单配方高流量操作和复杂的研发稀释。以高达120,000 SLPM的总流量控制
创建多达10种气流的混合物。一致准确的气体混合物由我们的MFC控制和检测。
个别通道调整以提供准确的混合，出口可配置背压控制，并快速响应不断变化的工艺条件。
主要功能和特点
1：准确度可达目标混合百分比的±0.6%
2：单个mfc的25 ms控制响应（T63）
3：机载库49可选择的气体校准
4：混合多达10种元素气体，支持预混气体（多达5种成分）
5：嵌入式系统计算机集成压力传感模块
6：高分辨率触摸屏界面，实时多变量数据监测
全量程流量范围，取决于型号
0.5 SCCM满量程流量范围- 12000SLPM满量程流量范围
最大进口压力
145 PSIG（更高的压力系统可用 与销售工程师交谈）
MXM-TK系列
所有于一体的6通道混频器低至中等流量的应用
一：桌面气体混合在一个盒子里
二：2到6个集成mfc，其中任何可以从0~100 SCCM到0~100 SLPM流量
三：尺寸9.2*14.0*14.2(英寸)粉末涂层底盘与不锈钢管路
MXM-SA系列
开放式10通道混合器，适用于所有流量应用（桌面）
一：遥控接口盒
二：2到10个板载mfc，其中任何可以从0~100 SCCM到0~12000SLPM流量
三：固定流量应用和动态压力控制，增加范围
四：尺寸9.2*11.7*7.3(英寸)紧凑型桌面控制器